Com reduir la contaminació d'oli a les bombes de difusió d'alt{0}}buit

1. Característiques de disseny i solucions de maquinari (el més important)

Instal·leu una trampa d'oli tipus deflector o paraigua-
Un deflector d'estil laberint-entre la sortida de la bomba de difusió i la cambra de buit ajuda a evitar que el vapor d'oli entri directament a la cambra.

Utilitzeu una trampa de fred (la solució més eficaç)
Una trampa freda col·locada a sobre de la bomba condensa el vapor d'oli abans d'arribar a la cambra. La refrigeració es pot proporcionar mitjançant nitrogen líquid, aigua refrigerada o un sistema de refrigeració. Aquesta és una de les maneres més efectives d'evitar el backstreaming.

Seleccioneu fluids de bomba de difusió de-vapor-a baixa pressió
Utilitzeu olis basats en silicona-d'alta qualitat-, com ara el fluid de bomba de difusió Dow Corning DC-704 o el fluid de bomba de difusió Dow Corning DC-705. Els fluids amb pressió de vapor més baixa redueixen significativament el risc de contaminació.

2. Bones pràctiques operatives (sovint s'obliden)

Seguiu la seqüència d'inici-i apagada correcta
Deixeu sempre que la bomba de difusió arribi a la temperatura de funcionament abans que comenci el bombeig complet. Quan s'apaga, apagueu primer l'escalfador i deixeu que la bomba es refredi abans d'aturar la bomba anterior. La pèrdua sobtada del bombeig de la línia frontal mentre la bomba està calenta pot provocar un fort retorn del petroli.

No ventilar mai la bomba mentre estigui calenta
L'admissió d'aire a una bomba de difusió calenta pot oxidar i degradar ràpidament l'oli de la bomba, produint contaminants i augmentant el risc de transmissió d'oli.

Mantenir una refrigeració estable i adequada
És essencial un flux adequat d'aigua de refrigeració. Un refredament deficient redueix l'eficiència de condensació del vapor i augmenta la probabilitat que el vapor d'oli migri aigües amunt.

3. Manteniment i cura rutinària

Substituïu l'oli de la bomba amb regularitat
No espereu fins que l'oli es torni fosc o viscós. L'oli envellit té una pressió de vapor més alta i és més propens a la contaminació i el retrocés.

Mantingueu net l'interior de la bomba
Netegeu periòdicament el cos de la bomba, el conjunt del doll i els deflectors. Els residus i els dipòsits d'oli es poden tornar a-entrar al corrent de vapor.

Mantenir un bon buit frontal
Si la pressió de la bomba anterior és massa alta, el raig de vapor es torna inestable, la qual cosa augmenta la circulació inversa del petroli.

4. Mesures avançades per a aplicacions ultra-netes

Instal·leu una vàlvula d'aïllament d'alt-buit
Una vàlvula entre la cambra i la bomba de difusió permet que el sistema estigui completament aïllat quan la bomba no s'utilitza, evitant qualsevol migració de vapor d'oli.

Utilitzeu bombes-sense oli quan la neteja sigui fonamental
Per a aplicacions com el processament de semiconductors o l'òptica de precisió, molts sistemes substitueixen les bombes de difusió per bombes turbomoleculars, com les produïdes per Pfeiffer Vacuum o Edwards Vacuum, per eliminar completament la contaminació del petroli.